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半導體企業(yè)定制高濃度臭氧發(fā)生檢測系統(tǒng)

來源:m.macdata.cn 發(fā)布時間:2025-05-23 17:14:57 瀏覽次數:

單位名稱:半導體企業(yè)
實驗內容:ALD
臭氧機型:3S-B20

半導體企業(yè)定制高濃度臭氧發(fā)生檢測系統(tǒng)

202505161234528.jpg

 3S-B20臭氧輸送系統(tǒng),配置Apex H30 高濃度臭氧發(fā)生器,雙光路紫外臭氧在線檢測儀,質量流量計,泄露報警器等,獨特的風冷設計,體積小、濃度高、穩(wěn)定性好,是半導體ALD PLD CVD ALE MBE 等應用的不二選擇。


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